翁开尔(北京)科技有限公司

臭氧水处理系统PAP-SC-200

  • 型号:

    PAP-SC-200

  • 简介:

    用于水处理和水消毒的氧化系统

  • 品牌:

    Anseros 安索罗斯

  • 产地:

    德国

询价单

应用

IMEC和RCA清洁流程

UPW系统

高级氧化工艺AOP

三相系统

生物降解DOC

灭菌

消毒CIP

产品介绍

特别是在半导体加工中,需要完全清洁的臭氧系统。在处理过程中从臭氧系统发射到半导体表面的任何金属和颗粒(Wafer/IMIC/RCA/SOM等)都会影响芯片的质量。包括其组件——例如臭氧发生器COM-AD或臭氧监测器WM——在内,Anseros的PAP-SC系统完全不含与臭氧接触的金属。无论是否有酸,它们都可以进行清洁的湿法和干法加工。为了确保安全,PAP-SC系统包括一个CAT-HO臭氧破坏器。

技术参数

气体流量:100 - 1000 Nl/h

O3:100 - 300 g O3/m3

与臭氧接触的材料:PFA、石英

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